AJ-1000可攜式-矽晶圓導輪檢測儀
可完全取代設備:表面粒度測定機、影像測定機(CNC影像測定機、二次元手動影像測定機)
結合高階光學鏡頭、特殊光源、百萬畫數CCD等周邊及程式,設計出此快速導輪 檢測,並有別一般設備的量測數據不足與成像不清問題並根據導輪輪廓檢測裝置獲得所述導輪輪廓投影影像,計算得出導輪V形槽及U形槽的各項特徵數據,如 圓心深、 溝深、R半徑、溝角度、角度左、、角度右左、右差距、平台、溝間距。
本新型手持式導輪輪廓檢測儀 通過視覺檢測方式來檢測導輪輪廓,可以準確的得出導輪表面V形槽及U形溝槽的實際情況,並且根據投影得出的導輪輪廓圖像計算出V形溝槽及U形溝槽各項特徵 數據,且能夠更準確的判斷V形溝槽及U形溝槽具體損耗情況,及時對導輪進行相應的處理,避免影響切割的精度和生產進度,也就避免了額外的損失進而提升製造 良率。